簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "周賢鎧".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="非晶矽"


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    以電漿輔助化學氣相沈積法合成低介電係數膜及非晶矽薄膜之研究
    • 材料科學與工程系 /95/ 碩士
    • 研究生: 張鴻偉 指導教授: 洪儒生
    • 本論文以平板式電漿輔助化學氣相沉積系統為基礎,分為兩部分:第一部份為成長低介電係數薄膜,實驗採用一矽烷偶合劑γ-glycidoxypropyl-trimethoxysilane(γ-GPS)及辛氟甲…
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